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真空镀膜机设备有哪些分类?

发表时间:2020-12-22 16:36

    对于真空镀膜机设备的分类,到底了解多少?真空设备维修厂家表示,真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、MBE分子束外延镀膜机和PLD激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。

   在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。

    真空镀膜机对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
    根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备,其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。


不同类型镀膜机的适用范围介绍

1、磁控溅射镀膜设备:应用于信息存储领域,如磁信息存储、磁光信息存储等

2、磁控溅射镀膜机:应用于防护涂层,如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等

3、磁控溅射镀Al膜生产线:应用于太阳能利用领域,如太阳能集热管、太阳能电池等

4、光学镀膜设备:应用于光学薄膜领域,如增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等

5、AZO透明导电膜磁控溅射镀膜生产线:应用于信息显示领域,如液晶屏、等离子屏等

6、触摸屏连续式镀膜生产线:应用于触摸屏领域,如手机、电脑、MP4等数码产品屏幕等。

7、磁控中频多弧离子镀膜设备:应用于硬质涂层,如切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。

8、PECVD磁控生产线:应用于集成电路制造,如薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。

9、蒸发式真空镀膜设备:应用于在装饰饰品上,如手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等镀膜。

10、低辐射玻璃镀膜生产线:应用于建筑玻璃方面,如阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。

11、抗反射导电膜连续磁控溅射生产线:应用于电子产品领域,如液晶显示器、液晶电视、MP4、车载显示、手机显示、数码相机和掌声电脑等。



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